據天眼查顯示，上海天馬微電子有限公司近日取得一項名為“一種薄膜晶體管及制備方法、傳感器裝置及顯示面板”的專利，授權公告號為CN115346876B，授權公告日為2024年8月9日，申請日為2022年8月19日。
本發明實施例公開了一種薄膜晶體管及制備方法、傳感器裝置及顯示面板，包括：提供第一基板；在第一基板一側依次制備犧牲層、第一柵極、有源層和第二柵極，第一柵極在有源層上的垂直投影面積和第二柵極在有源層上的垂直投影面積不同，且面積較大的柵極完全覆蓋面積較小的柵極；以第二柵極為阻擋層對有源層進行離子注入，形成第一摻雜區；以第一柵極為阻擋層對有源層進行離子注入，形成第二摻雜區，第一摻雜區和第二摻雜區的摻雜濃度不同。本發明實施例提供的技術方案，以提高薄膜晶體管的性能，且簡化制備工藝。
