6月2日，北京科益虹源光電技術公司日前發生了變化，注冊資金從1.2億元增加到2.02億元，增長68%，新增投資人包括華為旗下的哈勃投資，占股4.76%，成為第七大股東。科益虹源主要業務是光刻機中的三大核心技術之一的光源系統，是國內第一、全球第三的193nm ArF準分子激光器企業。
 

根據相關報道，2018年科益虹源自主設計開發的國內首臺高能準分子激光器出貨，打破了國外廠商的長期壟斷。

 

2020年4月份，科益虹源集成電路光刻光源制造及服務基地項目開工建設。該項目由北京科益虹源光電技術有限公司投資建設，總投資5億元，建筑面積1.2萬平方米，年產RS222型光刻準分子激光器、光刻用準分子激光器、405光纖耦合頭等各類設備30臺（套）。