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山東大學徐現剛教授:碳化硅單晶生產技術的現狀和未來的發展

放大字體  縮小字體 發布日期:2017-11-09 來源:中國半導體照明網瀏覽次數:1096
  一代材料,一代器件,一代裝備,一代應用。第三代半導體材料主要包括以氮化鎵(GaN)為代表的寬禁帶Ⅲ族氮化物、以碳化硅(SiC)為代表的寬禁帶Ⅳ族化合物以及寬禁帶氧化物,具備擊穿電場高、熱導率大、電子飽和漂移速率高、抗輻射能力強等優越性能,是固態光源和電力電子、微波射頻器件的“核芯”,在半導體照明、新一代移動通信、新能源并網、智能電網、高速軌道交通、新能源汽車、消費類電子等領域有廣闊的應用前景,正在成為全球半導體產業新的戰略高地。
現場3
  為助力中國第三代半導體行業發展提質增效,更好地整合國內外第三代半導體行業的優勢資源,實現中國半導體行業迅速崛起。2017年11月1日,由國家半導體照明工程研發及產業聯盟、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟、北京市順義區人民政府主辦的第十四屆中國國際半導體照明論壇暨 2017 國際第三代半導體論壇開幕大會在北京順義隆重召開。會期兩天半,同期二十余場次會議。2日上午,舉行的“碳化硅材料與器件分會” 特邀請浙江大學教授、博士生導師盛況和山東大學教授徐現剛共同擔任分會主持人。徐現剛教授還分享“SiC單晶生長技術的現狀與展望”深度報告,帶來最新的技術進展和前景趨勢分析。
徐現剛
  碳化硅是第三代半導體材料,用于高溫大功率半導體器件,在雷達、高壓輸電等方面有廣泛用途,碳化硅的生長需要在2100多度的高溫環境里進行,它的硬度僅次于金剛石。
 
  徐現剛教授團隊的碳化硅重大項目進行產業化轉化后,成為國內首家掌握碳化硅單晶生長及襯底加工的高技術企業,實現了碳化硅半導體單晶襯底產品的產業化發展。
 
  徐教授表示,碳化硅之所以它好,有一個它本身的自身特性好,也就是它的物理特性,用中國的俗話來說根正苗紅。六十年前已經發現了碳化硅是最佳的半導體材料,所以對于碳化硅來說它并不是一個新材料,六十年前我們從理論上預測非常好的材料,但是我們等了六十年碳化硅的時代才到來。這中間的艱辛一方面是硅材料的突飛猛進,硅材料的自備技術,另一方面碳化硅生產的難度也非常大,決定了它的應用受到了一些限制。
 
  對碳化硅的要求,徐教授認為,應用時候有經濟方面的一些關鍵點,一個是它的成熟度,它材料的成熟度,主要表現在它的缺陷,并且它的位錯比較感興趣,這個也決定了碳化硅的器件可靠性。另一方面還有一個就是碳化硅材料由于生產的溫度非常高,兩千多度以上,難免會有一些問題。第二個它要做到我們的AGBT,高壓的材料它還是非常有挑戰性的需求。(根據現場速記整理,如有出入敬請諒解!)
 
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