超寬帶半導(dǎo)體材料具有更高的禁帶寬度、熱導(dǎo)率以及材料穩(wěn)定性,在新一代深紫外光電器件、高壓大功率電力電子器件等意義重大的應(yīng)用領(lǐng)域具有顯著的優(yōu)勢(shì)和巨大的發(fā)展?jié)摿Α?/p>
超寬帶隙半導(dǎo)體的研究契合國(guó)家發(fā)展戰(zhàn)略,對(duì)于我國(guó)搶占技術(shù)制高點(diǎn)、掌握國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)主導(dǎo)權(quán)具有重要意義,尤其是以金剛石為代表的超寬禁帶半導(dǎo)體材料具有獨(dú)特優(yōu)點(diǎn),是對(duì)第三代寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的完善和堅(jiān)強(qiáng)補(bǔ)充。
2017年11月1日-3日,第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在中國(guó)地區(qū)的年度盛會(huì),2017國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS2017)在北京·順義·首都機(jī)場(chǎng)希爾頓酒店隆重舉行。并與第十四屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇(SSLCHINA 2017)同期舉行。本屆會(huì)議由北京市順義區(qū)人民政府、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)主辦,得到科技部、發(fā)改委、工信部、北京政府等相關(guān)部門大力支持。
作為全球性、高層次的綜合性論壇。論壇設(shè)置了“碳化硅材料與器件”、“氮化鎵功率電子器件”等六大專題技術(shù)分會(huì)。全面覆蓋行業(yè)基礎(chǔ)研究、襯底外延工藝、電力電子器件、電路與模塊、下游應(yīng)用的創(chuàng)新發(fā)展,提供全球范圍的全產(chǎn)業(yè)鏈合作平臺(tái)。
其中,“超寬禁帶半導(dǎo)體及其它新型半導(dǎo)體材料”分會(huì)作為論壇六大技術(shù)分會(huì)之一,重點(diǎn)關(guān)注超寬禁帶半導(dǎo)體材料的制備、工藝技術(shù)、關(guān)鍵設(shè)備及半導(dǎo)體器件應(yīng)用,聚焦超寬禁帶半導(dǎo)體材料及器件應(yīng)用發(fā)展的新技術(shù)、新應(yīng)用和新趨勢(shì),積極推動(dòng)我國(guó)超寬禁帶半導(dǎo)體材料和器件應(yīng)用的發(fā)展。
日本Novel Crystal Technology公司總裁Akito KURAMATA、廣西大學(xué)杰出教授、臺(tái)灣大學(xué)榮退教授馮哲川, 西安交通大學(xué)教授王宏興,中國(guó)科學(xué)院微電子研究所研究員龍世兵,山東大學(xué)教授陶緒堂,鄭州大學(xué)物理工程學(xué)院院長(zhǎng)、教授單崇新,河北半導(dǎo)體研究所專用集成電路國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室高級(jí)工程師王晶晶,山東大學(xué)/濟(jì)南中烏新材料有限公司王希瑋等來(lái)自國(guó)內(nèi)外的重量級(jí)嘉賓出席并帶來(lái)了精彩報(bào)告。中科院微電子所教授,中國(guó)科學(xué)院院士劉明與廈門大學(xué)校長(zhǎng)、南京大學(xué)教授張榮共同主持了本屆分會(huì)。
日本Novel Crystal Technology公司總裁Akito KURAMATA做了用于功率器件的β-Ga2O3晶體塊體和外延生長(zhǎng)的報(bào)告,分享了其最新研究成果。
廣西大學(xué)杰出教授、臺(tái)灣大學(xué)榮退教授馮哲川帶來(lái)了Ga2O3薄膜的光學(xué)和結(jié)構(gòu)特性的報(bào)告,并重點(diǎn)介紹了兩種技術(shù)測(cè)量。
西安交通大學(xué)教授王宏興做了關(guān)于微機(jī)電系統(tǒng)單晶金剛石微結(jié)構(gòu)制備的報(bào)告。
中國(guó)科學(xué)院微電子研究所研究員龍世兵分享了基于(100) β-Ga2O3 單晶的肖特基二極管和MOS電容的研究成果。
山東大學(xué)教授陶緒堂做了晶體生長(zhǎng)和β-Ga2O3表征的最新進(jìn)展的報(bào)告,分享了在氧化鎵晶體生長(zhǎng)方面的研究實(shí)踐及成果。
鄭州大學(xué)物理工程學(xué)院院長(zhǎng)、教授單崇新做了高質(zhì)量金剛石的CVD生長(zhǎng)的報(bào)告。
河北半導(dǎo)體研究所專用集成電路國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室高級(jí)工程師王晶晶分享了金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管的射頻功率性能評(píng)價(jià),并介紹了利用金剛石材料制作射頻器件方面的工作及成果。
山東大學(xué)/濟(jì)南中烏新材料有限公司王希瑋做了高溫高壓?jiǎn)尉?shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)金剛石技術(shù)的介紹,分享了單晶金剛石生產(chǎn)技術(shù)方面的工作及成果。