9月10日,在2017中國(上海)國際傳感器技術與應用展覽會開幕式暨2017全球傳感器與物聯網產業峰會上,中國科協副主席、中國科學院院士王曦,工信部原副部長楊學山,市科委主任壽子琪、副主任干頻,嘉定區委書記馬春雷,國家集成電路產業投資基金總經理、中國高端芯片聯盟理事長丁文武,工信部電子司副司長吳勝武共同啟動上海微技術工業研究院(以下簡稱“工研院”)“超越摩爾”研發中試線,標志著國內首條、全球領先、兼容CMOS(互補金屬氧化物半導體)的8英寸研發中試線在上海正式投入運營,旨在推動我國“超越摩爾”技術和物聯網創新應用快速發展、引領全球。
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目前,在“超越摩爾”領域,業界普遍使用6英寸產線,貫通從研發到量產全程服務的8英寸產線是公認的領先技術。8英寸“超越摩爾”研發中試線落地上海嘉定工業區、近5000平方米的高等級微納加工超凈廠房內,將專注于“超越摩爾”傳感器產品技術的開發,可全面開展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統的研發,并根據“超越摩爾”產品和技術特點部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關工藝和量測設備。8英寸研發中試線不僅可承擔產品研發、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務,有助于提升研發的成功率,更將助力實現“超越摩爾”產品和技術從研發到量產的無縫銜接。以全球領先的8英寸“超越摩爾”研發中試線為支點,工研院將打造集研發、工程、市場、孵化于一體的功能型平臺,為創新企業及合作伙伴提供全方位服務和解決方案。
會上,由工研院、國家集成電路產業投資基金及其他戰略投資人共同發起的50億元“超越摩爾”產業基金同時成立。基金將配合工研院在美國硅谷、法國格勒諾布爾、我國臺灣新竹等地建立的創新網絡,為更多創新企業提供早期支持,孵化未來領軍企業。