国产一级在线_欧美一日本频道一区二区三区_久久精品视频9_欧美性生交大片

 
 
當前位置: 首頁 » 資訊 » 產業資訊 » 第三代半導體 » 正文

使用GaN基板將GaN功率元件FOM減至1/3

放大字體  縮小字體 發布日期:2016-12-16 來源:日經BP社瀏覽次數:379
  松下試制出了使用GaN基板的GaN功率晶體管(「GIT」),并在“IEDM 2016”上發表(演講序號:10.3)。與該公司已推出產品的以往Si基板產品相比,將導通電阻(Ron)降至2/3,將輸出電荷(Qoss)減至約一半。這樣便可將導通電阻與輸出電荷的乘積——以關斷開關為對象的“FOM(figure of merit)”減小至約1/3,實現高速關斷。試制品盡管為AlGaN/GaN的HEMT構造,使用GaN基板,但卻是電子沿器件水平方向移動的橫式器件。可以說,器件構造與原來基本相同,只是改變了基板的種類。
 
  松下在GaN基板產品和Si基板產品方面試制了2.1mm×2.0mm測試芯片做了比較。Si基板產品的導通電阻為150mΩ,GaN基板產品的導通電阻為100mΩ。Qoss方面,Si基板產品為18.3nC,GaN基板產品為9.4nC。這樣,與Si基板產品的FOM為2745mΩ·nC相比,GaN基板產品減小至940mΩ·nC。松下通過實施開關操作計算出了關斷時的速度,與以往Si基板產品為285V/ns相比,GaN基板產品的速度達到了約2倍的140V/ns。
 
  使用GaN基板后導通電阻減小的原因于基板上的GaN類半導體的結晶缺陷減少。這樣,電子遷移率得到提高,導通電阻隨之減小。Qoss減小是因為加厚了設置于GaN基板正上方的緩沖層。Si基板產品緩沖層厚5μm,而GaN基板產品加厚至16μm。Si基板產品使材料與Si不同的GaN結晶生長,因此過于加厚緩沖層時,容易出現裂紋等。所以以5μm左右為極限。
 
  此外,通過采用GaN基板還可提高耐壓并抑制電流崩塌現象。耐壓方面,在緩沖層的厚度為16μm、柵漏間距(Lgd)為10μm時耐壓達到1.5kV左右,Lgd為20μm時耐壓達到2.8kV。Si基板產品中,緩沖層厚度為5μm、Lgd為10μm時耐壓達到1kV左右。而且,即使將Lgd擴大至15μm,耐壓也幾乎不變。
 
電流崩塌現象方面,已確認最高到1kV也不會發生該現象。與松下正在銷售的、設置有防電流崩塌構造的Si基板產品為同等水平。不設置該構造時,在1kV以下便會發生電流崩塌。 
 
【版權聲明】本網站所刊原創內容之著作權為「中國半導體照明網」網站所有,如需轉載,請注明文章來源——中國半導體照明網;如未正確注明文章來源,任何人不得以任何形式重制、復制、轉載、散布、引用、變更、播送或出版該內容之全部或局部。
 
[ 資訊搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告訴好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 關閉窗口 ]

 
0條 [查看全部]  相關評論

 
推薦圖文
點擊排行
關于我們 | 聯系方式 | 使用協議 | 版權隱私 | 誠聘英才 | 廣告服務 | 意見反饋 | 網站地圖 | RSS訂閱