中國半導(dǎo)體照明網(wǎng)訊：鈣鈦礦氧化物材料作為一種新興的半導(dǎo)體材料，近年來受到人們的廣泛關(guān)注，尤其是高溫超導(dǎo)和巨磁電阻現(xiàn)象的發(fā)現(xiàn)，在世界范圍內(nèi)掀起了鈣鈦礦氧化物材料的研究熱潮，在材料方面和相關(guān)理論研究方面，都取得了很大的進(jìn)展。
山西春明激光科技有限公司與中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中國科學(xué)院物理研究所共同承擔(dān)了863計(jì)劃“鈦酸鍶與鋁酸鑭薄膜制備技術(shù)及器件開發(fā)”課題，課題于2015年9月16日通過了科技部組織的中期現(xiàn)場檢查。
課題組聯(lián)合攻關(guān)，突破L-MBE設(shè)備用大脈沖能量激光器關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高能量的紫外脈沖激光器，體積僅為進(jìn)口激光器的1/3，脈沖穩(wěn)定性和脈沖寬度優(yōu)于進(jìn)口激光器，并將其成功集成的自主研制的外延腔中，實(shí)現(xiàn)了全國產(chǎn)化的激光L-MBE設(shè)備，并初步實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量鈣鈦礦氧化物薄膜材料的生長。從根本上打破國內(nèi)寬禁帶半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展依賴于進(jìn)口設(shè)備的局面，這將會促進(jìn)我國寬禁帶半導(dǎo)體材料的快速發(fā)展，也是我國寬禁帶半導(dǎo)體材料實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新跨越發(fā)展的必然趨勢。
圖1 自主研發(fā)激光器與進(jìn)口激光器體積比較
圖2 自主研制L-MBE設(shè)備
圖3 中期檢查匯報(bào)現(xiàn)場
