到目前，我國(guó)在MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化方面已經(jīng)邁進(jìn)了一大步，并且在市場(chǎng)推廣方面取得了階段性的成果。但是應(yīng)該看到，我國(guó)MOCVD大型設(shè)備制造的產(chǎn)業(yè)化還僅僅處于起步階段，與目前國(guó)際兩家大型MOCVD設(shè)備制造企業(yè)相比，不論是技術(shù)還是市場(chǎng)，都還不具備明顯優(yōu)勢(shì)，但是在市場(chǎng)靈活性和服務(wù)本土化方面則有著國(guó)外企業(yè)無法企及的優(yōu)勢(shì)。在肯定前期成果與收獲的同時(shí)，如何實(shí)現(xiàn)突破，是國(guó)內(nèi)MOCVD設(shè)備制造相關(guān)的各界需要面臨和應(yīng)對(duì)的重要挑戰(zhàn)。

技術(shù)追趕的“獲”與創(chuàng)新優(yōu)化的“惑”

從技術(shù)的角度看，我國(guó)國(guó)產(chǎn)的MOCVD設(shè)備在基本工藝和產(chǎn)出外延片芯片的性能指標(biāo)上都已經(jīng)達(dá)到了現(xiàn)有進(jìn)口設(shè)備的水平，技術(shù)開發(fā)和技術(shù)落地上已經(jīng)取得了階段性成功，為實(shí)現(xiàn)下一步的目標(biāo)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

但是，在進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)時(shí)設(shè)備本身的大批量、高可靠性和重復(fù)性、低成本、關(guān)鍵零部件國(guó)產(chǎn)化，以及設(shè)備生產(chǎn)外延產(chǎn)品時(shí)如何提高穩(wěn)定性、產(chǎn)品良率、降低材料使用量等方面，仍然有大量需要進(jìn)一步創(chuàng)新和優(yōu)化的工作要做。

在技術(shù)上如何從追趕者變身為競(jìng)爭(zhēng)者，甚至提升為領(lǐng)導(dǎo)者，還有很多的“惑”要解，還有很長(zhǎng)的路要走，只有不斷的技術(shù)創(chuàng)新才是我國(guó)MOCVD制造產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)突破、邁向成功的根本之路。

產(chǎn)業(yè)關(guān)注的“獲”與市場(chǎng)切入的“惑”

近年來我國(guó)半導(dǎo)體照明行業(yè)的高速發(fā)展對(duì)MOCVD產(chǎn)生巨大需求，引發(fā)了各界關(guān)注，讓產(chǎn)業(yè)各界看到了研發(fā)和生產(chǎn)國(guó)產(chǎn)MOCVD的必要性和緊迫性，由此開始了一個(gè)MOCVD國(guó)產(chǎn)化的高潮。但是在這期間國(guó)際巨頭攜技術(shù)優(yōu)勢(shì)已壟斷性占領(lǐng)市場(chǎng)，為國(guó)產(chǎn)MOCVD進(jìn)入市場(chǎng)制造了巨大的壓力和困難，有業(yè)界人士甚至以“生不逢時(shí)” 來形容。

2012-2013年，我國(guó)半導(dǎo)體照明行業(yè)的發(fā)展速度放緩，出現(xiàn)了一定時(shí)期的調(diào)整，應(yīng)該說給還不太成熟的國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商提供了成長(zhǎng)空間和機(jī)會(huì)，國(guó)內(nèi)多家企業(yè)此間推出生產(chǎn)型樣機(jī)，并開始進(jìn)入外延芯片生產(chǎn)企業(yè)試用，揚(yáng)州乾照、華燦光電、璨揚(yáng)光電等多家外延芯片企業(yè)由此成為第一批“吃螃蟹”的人。

與產(chǎn)業(yè)對(duì)國(guó)產(chǎn)MOCVD研發(fā)進(jìn)展的高度關(guān)注形成反差的是，這些國(guó)產(chǎn)MOCVD進(jìn)入企業(yè)試產(chǎn)之后就歸于沉寂，沒了下文。雖然多家研發(fā)企業(yè)對(duì)形勢(shì)判斷樂觀，認(rèn)為2014-2015年將有一定數(shù)量的國(guó)產(chǎn)MOCVD出貨，但現(xiàn)實(shí)的情況卻是一方面外延芯片企業(yè)對(duì)國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備信心不足，不敢貿(mào)然出手承擔(dān)風(fēng)險(xiǎn)，另一方面國(guó)際巨頭通過更新技術(shù)、降低價(jià)格對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行多方面的打壓。

因此，MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，不僅需要研發(fā)企業(yè)的創(chuàng)新突破能力，也需要合作各方資金的投入能力，更需要的是LED芯片廠家對(duì)國(guó)產(chǎn)裝備的信任程度。從推出樣機(jī)到進(jìn)入生產(chǎn)線試生產(chǎn)，再到批量制造，用戶大規(guī)模使用，這是MOCVD設(shè)備發(fā)展的必經(jīng)之路，不管是設(shè)備制造商還是LED芯片廠家都不能急于一時(shí)。在這場(chǎng)螞蟻撼大樹的較量中比的是實(shí)力，也是耐力。

支持國(guó)產(chǎn)的“獲”與補(bǔ)貼進(jìn)口的“惑”

由于MOCVD的戰(zhàn)略意義和關(guān)鍵作用，從國(guó)家層面，到地方層面，再到產(chǎn)業(yè)層面都已形成一致的共識(shí)，實(shí)現(xiàn)其國(guó)產(chǎn)化已是必然趨勢(shì)，但是在支持國(guó)產(chǎn)化的同時(shí)，一些地方對(duì)進(jìn)口MOCVD進(jìn)行了高額補(bǔ)貼，這種做法雖然短期內(nèi)實(shí)現(xiàn)區(qū)域半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)的聚集效應(yīng)，做大了該產(chǎn)業(yè)，但從長(zhǎng)期來看，直接導(dǎo)致了國(guó)內(nèi)產(chǎn)能的結(jié)構(gòu)性過剩，也使得國(guó)產(chǎn)MOCVD企業(yè)在進(jìn)入市場(chǎng)時(shí)步履維艱。

根據(jù)CSA Research不完全統(tǒng)計(jì)，我國(guó)MOCVD保有量從2008年底的100臺(tái)，到2013年的1090臺(tái)，增加了1000多臺(tái)，這其中有很多得到了地方政府給予的補(bǔ)貼，單臺(tái)數(shù)額在800～1200萬之間。粗略估算僅MOCVD設(shè)備購(gòu)買的補(bǔ)貼就高達(dá)100億元左右，再加上科技三項(xiàng)補(bǔ)貼、技改資金，以及其他名目繁多的補(bǔ)貼補(bǔ)助等，總額近120億元。

隨著結(jié)構(gòu)性產(chǎn)能過剩的凸顯，政府對(duì)采購(gòu)設(shè)備的補(bǔ)貼也開始變得謹(jǐn)慎，一些地方政府已開始減少或取消該設(shè)備補(bǔ)貼，至此國(guó)內(nèi)外MOCVD企業(yè)將真正開始市場(chǎng)層面的競(jìng)爭(zhēng)。

產(chǎn)學(xué)研結(jié)合的“獲”與硬件工藝脫節(jié)的“惑”

以企業(yè)為主體的產(chǎn)學(xué)研結(jié)合，在MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的第一階段取得了顯著成就，但是在從樣機(jī)走向產(chǎn)業(yè)的過程中，硬件制造與工藝改進(jìn)還未能實(shí)現(xiàn)高度的結(jié)合。

目前我國(guó)從事MOCVD研發(fā)的單位其技術(shù)或技術(shù)人員有些是來自國(guó)外MOCVD研發(fā)企業(yè)，有些是來自國(guó)內(nèi)科研院所，還有一些是來自傳統(tǒng)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)?？梢钥闯觯覈?guó)MOCVD設(shè)備生產(chǎn)廠商的研發(fā)一定程度上是在單打獨(dú)斗，應(yīng)用商即外延芯片企業(yè)的參與程度較低，這使得國(guó)產(chǎn)MOCVD在工藝開發(fā)、工藝驗(yàn)證、工藝改進(jìn)方面與設(shè)備硬件的研發(fā)制造相脫節(jié)。

MOCVD設(shè)備本身的特性決定其技術(shù)創(chuàng)新不僅是設(shè)備設(shè)計(jì)和制造本身，更重要的是如何從所外延材料的角度尋求突破、還需要從MOCVD的源材料技術(shù)中尋求突破。因此跨行業(yè)、跨技術(shù)領(lǐng)域、跨產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)的聯(lián)合，是國(guó)產(chǎn)MOCVD從樣機(jī)真正走向產(chǎn)業(yè)化的重要途徑。

總結(jié)：

MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化是我國(guó)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)由大到強(qiáng)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，具有重要的戰(zhàn)略意義。隨著國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備的逐步走向市場(chǎng)，將給半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)帶來新的發(fā)展機(jī)遇。但是MOCVD要實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，目前僅僅是邁出了第一步，未來還任重道遠(yuǎn)，需要政府、企業(yè)、科研機(jī)構(gòu)、各方資金聯(lián)手合作，從政策扶持、技術(shù)創(chuàng)新、市場(chǎng)突破等方面不斷作為，才能在LED通用照明迅猛增長(zhǎng)所帶來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中把握機(jī)遇，應(yīng)對(duì)挑戰(zhàn)，在巨大的MOCVD市場(chǎng)需求中有所斬獲，并開創(chuàng)國(guó)產(chǎn)LED高精尖設(shè)備的一片天地。