長期以來，中國LED外延芯片MOCVD設(shè)備市場一直被美國維易科(Veeco)和德國愛思強(qiáng)(Aixtron)兩大巨頭霸占，雖然中國本土化設(shè)備已經(jīng)開始走進(jìn)企業(yè)生產(chǎn)線，但是，習(xí)慣于使用進(jìn)口設(shè)備的國內(nèi)LED芯片企業(yè)對國產(chǎn)設(shè)備的認(rèn)知還需要跨過“信心門檻”。

       最近一年多，兩大巨頭的低價競爭更讓中國本土設(shè)備企業(yè)面臨極大的生存挑戰(zhàn)，使得MOCVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)進(jìn)入門檻變得更高。面對海外設(shè)備商拋出的競爭性壓迫，中國MOCVD設(shè)備企業(yè)能否頂?shù)米毫Γ钙饑a(chǎn)化的大旗，實現(xiàn)國產(chǎn)MOCVD設(shè)備“虎口奪食”?為此，記者專訪了中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(簡稱“中微”)資深副總裁杜志游博士，請他介紹了中微在加速MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程中獲取的寶貴經(jīng)驗。

重視研發(fā) 強(qiáng)化專利

       像在其他許多高技術(shù)行業(yè)一樣，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，已經(jīng)盤踞市場的先行者們絕不會輕易給“后來者”以瓜分的機(jī)會。打?qū)＠啤⒃谥R產(chǎn)權(quán)問題上“找茬”的手段最為常用。然而，中微對此早有準(zhǔn)備，見招拆招，得心應(yīng)手。

       中微面對巨頭們的專利“挑釁”，不是退縮和忍讓，而是沉著應(yīng)戰(zhàn)、攻守得當(dāng)。中微所經(jīng)歷的幾場國際專利官司無不以勝訴或和解收場，這已經(jīng)在業(yè)內(nèi)被贊為中國知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)的佳話。

       杜志游博士表示，從中微過去和美國的半導(dǎo)體制造巨頭之間的幾場專利官司可以看出，中微在專利申請和保護(hù)上一貫十分重視和謹(jǐn)慎，在注重自身專利保護(hù)的同時也不侵犯別人的專利。因此，中微從來沒有輸過專利官司。可以這么說，中微樹立了中國企業(yè)在專利保護(hù)方面的典范，改變了中國的高科技公司在知識產(chǎn)權(quán)方面相對“軟弱”的局面。

       中微在專利官司上能做到“知己知彼，百戰(zhàn)不殆”，當(dāng)然這也得益于其背后優(yōu)秀的科研團(tuán)隊和知識產(chǎn)權(quán)團(tuán)隊作為支撐。同時，中微優(yōu)秀的科研團(tuán)隊不斷地創(chuàng)新，支撐起了一個保護(hù)自主知識產(chǎn)權(quán)的專利體系。據(jù)了解，目前中微有一半以上的員工從事研發(fā)工作。

       從研發(fā)上來說這是一個很大的團(tuán)隊。通過十年的發(fā)展和積累，中微已經(jīng)申請了幾百余項國內(nèi)外專利，涉及MOCVD的專利已超過百項，其中大部分專利已被授權(quán)。從研發(fā)團(tuán)隊的組建到專利技術(shù)的申請，企業(yè)的投入之重令人嘆服，這也足以看出中微在微觀設(shè)備研發(fā)和創(chuàng)新上所做的不懈努力。

       中國的半導(dǎo)體設(shè)備工業(yè)起步較晚，在這樣的情況下企業(yè)如何吸引全世界的人才，成為企業(yè)長足發(fā)展所要考慮的另一個重要因素。“中微是一個研發(fā)型企業(yè)，其核心不是說企業(yè)有多少設(shè)備、多少廠房、多少土地，而是說有多少優(yōu)秀的、一流的人才。人才在中微被視為企業(yè)發(fā)展的頭等大事，中微為此不遺余力。”杜志游博士告訴記者。

       目前，中微擁有三大類產(chǎn)品，第一大類是最早研發(fā)的等離子介質(zhì)刻蝕機(jī)，主要使用在半導(dǎo)體IC芯片制造行業(yè);第二大類是硅通孔刻蝕設(shè)備，主要用在IC芯片的先進(jìn)封裝上;第三類就是MOCVD設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體照明LED芯片的生產(chǎn)。

       杜志游博士表示，“為保證我們的產(chǎn)品能夠在國際市場上取得競爭優(yōu)勢，就要在技術(shù)上不斷創(chuàng)新，并且使產(chǎn)品具有更高的性價比。在中微，我們一直有一個‘為整體經(jīng)濟(jì)效益創(chuàng)新’的產(chǎn)品革新理念，也就是說，要讓我們的產(chǎn)品使用者，乃至順著產(chǎn)品鏈向下游延伸的企業(yè)，都能因為我們的創(chuàng)新而獲得經(jīng)濟(jì)上的效益，這比技術(shù)上的革新更難，但卻更有意義。中微一直都在朝著這個方向努力。”

打破門檻 嶄露頭角

       當(dāng)前，美國Veeco和德國Aixtron兩家公司占領(lǐng)了全球幾乎所有的MOCVD設(shè)備市場。二者在國際MOCVD設(shè)備市場上的占有率多年來連續(xù)超過90%，形成了寡頭壟斷的格局，同樣也壟斷了中國的MOCVD設(shè)備市場。其技術(shù)水平、規(guī)模效應(yīng)、品牌效應(yīng)、客戶資源等都達(dá)到了相當(dāng)?shù)母叨取τ趪a(chǎn)MOCVD設(shè)備來說，要實現(xiàn)設(shè)備的國產(chǎn)化，除了要面對來自巨頭們的競爭壓力，還有一道用戶的“信心門檻”有待跨越。

       CSA Research指出，MOCVD設(shè)備很大程度上從成本、產(chǎn)量等方面制約了中國LED產(chǎn)業(yè)的健康快速發(fā)展。實現(xiàn)大型MOCVD設(shè)備及關(guān)鍵配套材料的國產(chǎn)化，將是提升我國整個LED產(chǎn)業(yè)的技術(shù)及創(chuàng)新能力的歷史轉(zhuǎn)折點。正是由于國內(nèi)MOCVD設(shè)備進(jìn)口替代潛力顯著，這對產(chǎn)業(yè)發(fā)展的意義更為重大。

       2013年3月，中微正式發(fā)布多反應(yīng)器金屬有機(jī)化合物氣相沉積設(shè)備(MOCVD)，并宣布進(jìn)入半導(dǎo)體照明市場，一時間成為國內(nèi)外設(shè)備商以及LED芯片企業(yè)重點關(guān)注的對象。“中微的MOCVD設(shè)備已經(jīng)先后在兩家客戶的LED芯片生產(chǎn)線上成功運行并實現(xiàn)量產(chǎn)，客戶十分滿意。”杜志游博士透露，“基于這樣的情況，中微會在今年下半年進(jìn)入更多的客戶，其中包括國內(nèi)以及海外客戶。”

       “數(shù)據(jù)會說話。我們正在用自己過硬的產(chǎn)品，幫助用戶建立起對國產(chǎn)設(shè)備的信心。有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)部門也在通過政策運用，鼓勵和促成國產(chǎn)MOCVD設(shè)備進(jìn)入生產(chǎn)線。隨著中微的MOCVD設(shè)備被越來越多的用戶認(rèn)可，我們有信心也有能力使國產(chǎn)設(shè)備在一個競爭激烈的市場上取得一席之地，并且獲得越來越大的市場份額。”杜志游博士自信地說。

突破壁壘 加速國產(chǎn)化

       通過查閱兩大設(shè)備巨頭的財務(wù)報表發(fā)現(xiàn)，他們都在賠錢，但是目前的設(shè)備價格比當(dāng)初降了40%～50%，有的地方甚至降了60%。業(yè)內(nèi)人士稱，兩大設(shè)備商的降價是為了構(gòu)筑半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的“壟斷固化”壁壘，壓制國產(chǎn)MOCVD設(shè)備的出頭，其目的是通過壓縮設(shè)備的利潤空間迫使國產(chǎn)設(shè)備退縮，以實現(xiàn)長期霸占MOCVD設(shè)備市場的目的。

       杜志游博士認(rèn)為，中微已經(jīng)突破了MOCVD設(shè)備技術(shù)上的壁壘，并且已經(jīng)進(jìn)入了這個市場。同時，打破壟斷實現(xiàn)競爭對客戶是有利的。第一，競爭能夠使得技術(shù)不斷地向前發(fā)展;第二，競爭能夠促使設(shè)備的性價比更高。這就會使得整個LED行業(yè)的成本下降，也會促進(jìn)LED市場的滲透率提高。中微在這兩方面也一直在努力。

       CSA Research數(shù)據(jù)顯示，隨著通用照明應(yīng)用規(guī)模的持續(xù)增長，生產(chǎn)照明用LED芯片所需MOCVD的數(shù)量將達(dá)到數(shù)千臺。近年來，我國半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)對MOCVD的需求量一直占全球需求量的60%以上，是全球需求量最高的地區(qū)。預(yù)計2014年，我國新增MOCVD數(shù)量將在150臺左右，總的MOCVD設(shè)備保有量將達(dá)到1240臺。

       但杜志游博士認(rèn)為，“如今的企業(yè)擴(kuò)產(chǎn)熱度不同以往，大家對待產(chǎn)能擴(kuò)張還是比較謹(jǐn)慎的，企業(yè)通過并購會把一些閑置的產(chǎn)能利用起來，效率也會提高，所以擴(kuò)產(chǎn)情況可能不會像前幾年那樣迅猛。好在LED市場才剛剛起來，產(chǎn)能過剩也只是暫時的現(xiàn)象，產(chǎn)能應(yīng)當(dāng)會在一兩年之內(nèi)被消化掉。總的來說，LED行業(yè)還是會向前走，因為LED照明市場前景十分廣闊。”

       最后，杜志游博士表示，無論從技術(shù)還是市場角度來說，目前的國產(chǎn)MOCVD設(shè)備都已經(jīng)取得了突破性的進(jìn)展，各項性能指標(biāo)都已達(dá)到國外同類設(shè)備的水平，有些指標(biāo)還有所超越。現(xiàn)在需要做的，是各行各業(yè)包括政府在內(nèi)共同努力，加一把火，加快設(shè)備國產(chǎn)化的進(jìn)程。中微希望能促進(jìn)MOCVD設(shè)備的國產(chǎn)化，促進(jìn)國產(chǎn)設(shè)備在LED領(lǐng)域的應(yīng)用，同時也希望通過中微的MOCVD設(shè)備來幫助客戶實現(xiàn)更好的生產(chǎn)效率、用更好的產(chǎn)品回報社會。我們作為社會的一份子，也將享受到LED帶給我們的光明。