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MOCVD測量設備:化“產能”為“效率”

放大字體  縮小字體 發布日期:2014-04-16 來源:中國半導體照明網瀏覽次數:28

隨著國內LED產業上游外延片、芯片產品的規模不斷擴大,人們也將目標投降了一個新的問題——外延片的良率。外延片的良率受到許多因素的影響,如果在外延制程中,在線進行檢測,就可以及時調整生長過程中的溫度等參數,降低外延片的彎曲度,提高產品的一致性,而非在產品生產后經過測試才發現問題,造成材料的浪費。

據有關數據顯示,2013年全球50%的LED產能都集中在中國大陸和中國臺灣,然而,LayTec AG全球市場與銷售總監Tom Thieme表示,產能并不能與效率直接對等。

據悉,一些國外大廠的批次生產時間約為5小時,尺寸主要為4吋和6吋產品;而國內廠商的批次時間則為10小時,尺寸也集中在2吋和4吋為主。因此,LayTec AG也一直關注中國地區的LED外延片的良率,并希望幫助企業降低成本。

目前,大多數中國地區大多數外延片廠商中,都采用紅外測量的方式,但這種方式在某些波段將有可能出現測量誤差。

此外,對于高亮度LED來說,由于其結構復雜,每一層的均勻性和厚度都有可能影響最后的發光效率,因而企業亟待通過更穩定、可靠的測量手段,在制程工藝內部進行在線分析,從而改善技術、提高產品良率,并降低成本。

Tom Thieme表示,中國LED企業目前最重要的是將產能轉化為效率,發展可持續的LED產業供應鏈,才能保持中國作為LED制造大國領先地位。在過去Laytec的發展中,有60%的營業收入是來源于LED相關的設備,而在這當中,日本、韓國一直是重要的市場,隨著中國MOCVD數量的增長,以及市場對國產產品性能要求的提高,中國也將成為Laytec重要的市場。

據了解,早在2012年,LayTec AG就嗅到6吋MOCVD設備的市場份額將會急速擴大,并適時推出了安裝到反應爐中的現地量測儀器,可以確保晶圓的平整度,以提高良率。Tom Thieme表示,該產品可使LED波長的一致性可達到±3納米。預計,LayTec AG將在2015年實現將波長一致性控制在±1納米的目標,這也將有效幫助LED外延芯片企業加快提升良率,以縮減成本。

 
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