致力于投影光刻機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)的上海微電子裝備有限公司(以下簡(jiǎn)稱SMEE)，日前攜SSB300系列LED步進(jìn)投影光刻機(jī)亮相2014廣州國(guó)際LED展。首臺(tái)LED步進(jìn)投影光刻機(jī)的推出，不僅滿足了國(guó)內(nèi)LED廠家對(duì)更高品質(zhì)產(chǎn)品的需求，更是扭轉(zhuǎn)了多年來國(guó)內(nèi)LED芯片制造企業(yè)不得不使用國(guó)外二手設(shè)備的局面。在展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)， SMEE市場(chǎng)開發(fā)部經(jīng)理李志丹就光刻機(jī)產(chǎn)品特色及市場(chǎng)需求的相關(guān)問題接受了中國(guó)半導(dǎo)體照明網(wǎng)記者的采訪。

一次亮相：品質(zhì)突出市場(chǎng)需求量大增

SSB300系列步進(jìn)投影光刻機(jī)是國(guó)內(nèi)首款專門面向亞微米2-6英寸晶圓光刻工藝需求的光刻設(shè)備，可支持LED圖形化藍(lán)寶石襯底生產(chǎn)工藝、LED芯片電極曝光、MEMS和Power Devices生產(chǎn)工藝等，具有國(guó)際先進(jìn)水平。

其特點(diǎn)有：

第一、適用于2~6英吋基底LED的PSS和電極的光刻工藝。可以應(yīng)對(duì)大翹曲藍(lán)寶石基底的曝光，能夠?qū)崿F(xiàn)2~6英吋基底的自動(dòng)切換，能夠在生產(chǎn)中實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)基底面型，保證客戶在使用過程中不再受吸盤污染的困擾。

第二、采用高性能縮減式物鏡，確保亞微米分辨率和高曝光均勻性;精密特制的運(yùn)動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)高精度的圖形拼接與精確的套刻。

第三、具有低使用成本、高曝光均勻性、高產(chǎn)能等一系列優(yōu)點(diǎn)，可滿足LED生產(chǎn)線對(duì)設(shè)備高性能、高可靠性、低使用成本(COO)的生產(chǎn)需求。除此之外，該系列產(chǎn)品機(jī)臺(tái)還能夠適應(yīng)硅、SiC等多種基底的曝光、可選背面對(duì)準(zhǔn)配置，使機(jī)臺(tái)的應(yīng)用擴(kuò)展至MEMS領(lǐng)域。

李志丹告訴記者說，“除了用光刻機(jī)來制作PSS外，現(xiàn)在越來越多的企業(yè)也需要應(yīng)用光刻機(jī)做細(xì)電極，通過提高電極分辨率來提高芯片的發(fā)光量。不少國(guó)內(nèi)LED芯片制造企業(yè)都在使用國(guó)外淘汰的二手機(jī)設(shè)備制作PSS，用國(guó)外進(jìn)口的設(shè)備做電極，無法找到一臺(tái)既能夠做PSS，又能做電極的光刻機(jī)。SSB300系列光刻機(jī)針對(duì)LED芯片制造的這些問題進(jìn)行專門設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)PSS和電極兩項(xiàng)工藝同時(shí)兼?zhèn)洌言诳蛻魧?shí)際產(chǎn)線得到了應(yīng)用，效果良好。目前，這種光刻機(jī)的市場(chǎng)需求量較大，尤其是今年增長(zhǎng)勢(shì)頭迅猛。”

一心做光刻機(jī)：攜四大系列產(chǎn)品深耕市場(chǎng)

據(jù)了解，SMEE主要致力于量產(chǎn)型IC制造、先進(jìn)封裝、3D-TSV、LED、MEMS、OLED-TFT、Power Devices等制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)。本次推出的SSB300/10A投影光刻機(jī)已在客戶產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)導(dǎo)入。

經(jīng)過過去十多年努力，SMEE已形成四大系列光刻機(jī)產(chǎn)品。應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路量產(chǎn)制造的600系列掃描光刻機(jī)，應(yīng)用于先進(jìn)封裝和微納制造的500系列步進(jìn)光刻機(jī)，面向AM-OLED TFT光刻制造工藝的200系列投影光刻機(jī)，以及此次展會(huì)展示的面向亞微米2-6英寸晶圓的光刻市場(chǎng)需求的300系列投影光刻機(jī)。300系列光刻機(jī)支持亞微米節(jié)點(diǎn)條件下的各種半導(dǎo)體光刻制程，特別包括圖形化藍(lán)寶石襯底生產(chǎn)工藝、LED芯片電極曝光、MEMS和Power Devices生產(chǎn)工藝，具有廣泛的市場(chǎng)前景。

目前，在先進(jìn)封裝光刻機(jī)市場(chǎng)領(lǐng)域，SMEE在大陸市場(chǎng)的占有率高達(dá)90%以上，幾乎囊括了所有國(guó)內(nèi)知名封裝企業(yè)。對(duì)于LED領(lǐng)域，SMEE在2013年推出國(guó)內(nèi)首臺(tái)LED投影光刻機(jī)，在客戶方逐漸獲得了認(rèn)可，擁有了實(shí)際上線量產(chǎn)應(yīng)用，現(xiàn)已在有兩臺(tái)設(shè)備分別在安徽和廣東裝機(jī)使用。

“前段時(shí)間公司業(yè)務(wù)主要集中在國(guó)內(nèi)PSS方面廠商，接下來重心將轉(zhuǎn)移到做LED芯片電極廠商。今年我們將進(jìn)一步拓展國(guó)內(nèi)LED市場(chǎng)，同時(shí)在臺(tái)灣市場(chǎng)方面也將有大動(dòng)作，目前正在和幾家客戶接觸，預(yù)計(jì)今年將會(huì)有幾臺(tái)設(shè)備成功交付廠商。”李志丹說

一路當(dāng)先：源于光刻機(jī)行業(yè)門檻高

SMEE成立于2002年，并一直專注于多領(lǐng)域的光刻機(jī)研發(fā)，但涉足LED行業(yè)卻是在2013年。已經(jīng)走過近十年的LED產(chǎn)業(yè)，為何國(guó)內(nèi)目前只有SMEE一家在做LED光刻機(jī)呢?

李志丹告訴記者，“一個(gè)行業(yè)容易被復(fù)制就說明行業(yè)門檻較低。LED光刻機(jī)對(duì)企業(yè)的資金和技術(shù)門檻要求較高，設(shè)備涉及的光學(xué)、機(jī)械、運(yùn)動(dòng)控制、光電精密測(cè)量等都是公司的核心技術(shù)，并且基本都是行業(yè)最尖端的技術(shù)。所以說，到目前為止SMEE仍是國(guó)內(nèi)唯一一家量產(chǎn)型LED步進(jìn)投影光刻機(jī)的企業(yè)。”

至于為何選擇在近年涉足LED領(lǐng)域，李志丹說，因?yàn)長(zhǎng)ED光刻機(jī)設(shè)備相比封裝設(shè)備有其特殊需求;業(yè)內(nèi)很多企業(yè)已經(jīng)購(gòu)買國(guó)外淘汰的低價(jià)二手機(jī)，進(jìn)而倒逼新設(shè)備研發(fā)的成本控制要求很高。

但經(jīng)過近幾年的市場(chǎng)調(diào)查發(fā)現(xiàn)，國(guó)外二手設(shè)備不能完全解決LED芯片制造企業(yè)問題。并且，隨著LED產(chǎn)業(yè)規(guī)模的不斷擴(kuò)大，產(chǎn)業(yè)整體趨勢(shì)保持向上發(fā)展，所以公司才決定涉足LED行業(yè)，而且通過創(chuàng)新技術(shù)為客戶解決了二手設(shè)備難以解決的難題，獲得了客戶的認(rèn)可。并且，現(xiàn)在市場(chǎng)和客戶對(duì)產(chǎn)品的要求越來越嚴(yán)格，國(guó)外二手設(shè)備已經(jīng)不能滿足要求，所以越來越多的廠商會(huì)選擇新機(jī)臺(tái)。

一機(jī)多用：幫助LED芯片企業(yè)解決困擾

據(jù)了解，SSB300步進(jìn)投影光刻機(jī)主要應(yīng)用于LED行業(yè)前端PSS和電極制造環(huán)節(jié)。

在PSS環(huán)節(jié)，SMEE光刻機(jī)主要解決了困擾企業(yè)最主要的兩個(gè)問題：一是解決了晶片表面形貌差的問題。李志丹告訴記者，由于國(guó)外二手機(jī)的焦深較差，不能曝出較大且完整圖形，勢(shì)必會(huì)影響外延晶片發(fā)光的均勻性，并最終導(dǎo)致芯片良率下降。另一個(gè)是提高了LED芯片拼接精度。李志丹說，國(guó)外二手光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定位精度只能達(dá)到500-600納米，這樣勢(shì)必會(huì)導(dǎo)致在LED芯片拼接時(shí)出現(xiàn)劣品。而擁有核心技術(shù)的SMEE光刻機(jī)高精度運(yùn)動(dòng)臺(tái)，定位精度可達(dá)到50-60納米，可以完美地完成LED芯片拼接任務(wù)。

在LED芯片電極方面，SMEE光刻機(jī)設(shè)備能做到不浪費(fèi)芯片。而國(guó)外二手機(jī)因?yàn)闃?biāo)記的設(shè)計(jì)問題，在制造過程中會(huì)對(duì)芯片造成一些浪費(fèi)，從而對(duì)LED芯片制造企業(yè)帶來成本壓力。另外，SMEE光刻機(jī)還提高了做電極時(shí)套刻的精度。SMEE可以說是做到了行業(yè)內(nèi)最高精度，這主要得益于其設(shè)備高精度的運(yùn)動(dòng)臺(tái)，在套刻時(shí)精度可以達(dá)到200納米以下，國(guó)外廠商設(shè)備基本上與之有一個(gè)微米的精度差距。“對(duì)于LED芯片制造企業(yè)來說，SMEE光刻機(jī)可以應(yīng)付兩臺(tái)國(guó)外設(shè)備能力，可以在保證產(chǎn)能前提下，為企業(yè)節(jié)省成本投入，這也是眾多企業(yè)選擇SMEE光刻機(jī)的原因之一。”李志丹說。

一流服務(wù)：愿與客戶共同成長(zhǎng)

對(duì)于價(jià)格昂貴的高科技設(shè)備，客戶在考慮選擇購(gòu)買時(shí)，不只關(guān)注其設(shè)備品質(zhì)的優(yōu)良，更加看重企業(yè)在售后服務(wù)中的表現(xiàn)。SMEE在不但從品質(zhì)上讓客戶放心，在售后服務(wù)環(huán)節(jié)更做到了讓客戶滿意。

李志丹告訴記者，SMEE在交付設(shè)備時(shí)，會(huì)跟客戶簽訂協(xié)議，為客戶提供專業(yè)培訓(xùn)，并派遣駐場(chǎng)工程師，進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)指導(dǎo)操作。

除了提供專業(yè)技術(shù)人員外，SMEE針對(duì)標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)復(fù)雜的設(shè)備，精心設(shè)計(jì)了簡(jiǎn)單易懂的操作界面，降低了對(duì)技術(shù)人員的要求，為客戶節(jié)省了人員成本開支。同時(shí)，光刻機(jī)制造的產(chǎn)品可以返工，很大程度地保證了產(chǎn)品的良率，為客戶最大限度地降低了成本。

李志丹說，半導(dǎo)體生產(chǎn)是設(shè)備與工藝結(jié)合非常密切的行業(yè)，我們不能孤立地去看待一個(gè)問題。因此，SMEE始終秉承與客戶一起成長(zhǎng)的理念，用心打造國(guó)際一流的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，愿意與客戶一起探討從設(shè)備到工藝上的技術(shù)改進(jìn)，幫助客戶提高工藝水平和產(chǎn)品質(zhì)量。