從科技部《半導體照明產業"十二五"規劃》的發布，再到2015年大型MOCVD設備、關鍵原材料實現國產化奮斗目標的提出，國內很多研究院校、企業加碼研發MOCVD設備，試圖打破歐美巨頭壟斷局面。

“MOCVD設備雖然成本較高，但政府補貼在行業發展的過程中，對研發LED外延片和芯片制造關鍵技術卻可以起到“四兩撥千斤”的作用，并成為促進產業鏈發展的一個“增利點”。”國家電器產品安全質量監督檢查中心李自力對《廣東LED》表示。

國家在LED發展政策，先后開始為企業購置MOCVD設備提供補助。按照機型種類及所在地區不同，企業每購置一臺MOCVD設備，可得到數百致上千人民幣的不等補助。中國企業不斷在MOCVD設備制造領域中求突破，但若打破歐美巨頭的壟斷格局，處于競技提質期的本土企業將迎來新的利好發展期。

各個企業紛紛大力引進MOCVD等關鍵設備、開始研發LED外延片和芯片制造關鍵技術，加快提高芯片、封裝和模塊制造水平，將會改變多年以來的形成的“進口MOCVD設備依賴癥”，使得LED產業迅速做大做強，形成了從“襯底材料—外延片—芯片—封裝—應用”的產業鏈。

核心專利受制于人本土企業研發MOVCD遭遇束足

LED的核心技術是高亮度LED的外延生長和芯片制造技術，具有較高的技術含量和附加值，是典型的技術密集型和資本密集型產業，該領域一直是業內公司競相攀登的行業高地。

核心設備及部分原材料依賴進口、外延芯片缺乏核心專利、測試方法及設備支撐不足，目前全球的MOCVD設備市場主要被兩家國外設備供應商AIXTRON和VEECO所壟斷。僅一臺進口MOCVD設備的售價目前約為1500萬元，其成本占整個芯片設備成本的50%左右。

制造商壟斷LED產業在全球已經形成了一套完整的產業鏈，美國、日本、歐洲、中國臺灣和韓國等國家和地區的企業數量眾多，主要集中在襯底、外延片、芯片以及封裝領域。當前，美國、日本等在核心器件的原材料和器件設計上具有技術優勢，處于世界領先水平，其中日本的日亞化學和豐田合成、美國的Cree、德國的Osram在世界半導體照明專利市場上暫時處于技術壟斷地位。在銷售額和市場份額方面，這些大公司也處于絕對領先位置。

晶科電子的一位研發人員告訴記者：“2009年前，LED產業和MOCVD市場很小，只有愛思強、維易科和一家日本公司提供MOCVD設備。2009年后，由于背光源的應用，LED產業實現了井噴式的發展，給這兩家公司提供了發展契機。由于專有技術、專利權等技術性壟斷，新進入的MOCVD提供商，有的不能提供滿足客戶需求的設備和技術，有的未能及時提供設備趕上市場的窗口，進而奠定了愛思強和維易科變相壟斷的局面。”

據GSC提供數據顯示，國際上采用SiC作為襯底的芯片生產企業主要包括：美國的Cree公司、歐洲的SiCrystal和Norstel公司、亞洲的天科合達藍光半導體有限公司和NionSteel公司，其中，美國Cree公司的SiC芯片技術和產銷量均處于國際領先地位。

目前LED外延片生產技術主要采用MOCVD，世界范圍內能夠生產這一設備的企業不過3到5家。世界上最大的兩家MOCVD生產商為德國的AIXTRON和美國的VEECO，它們占據全球MOCVD供應市場90%以上的市場份額，處于壟斷地位。

擺脫“進口依賴”本土企業奮起反壟斷

近年來，憑借高效節能、綠色環保等特點，LED產業在國內獲得快速發展。科技部發布的《半導體照明科技發展“十二五”專項規劃》指出，到2015年，LED產業規模預計將達到5000億元，并明確指出80%以上的LED芯片要實現國產化。

如今，中國大陸的MOCVD設備增速已位居全球首位，同時也成為全球兩大MOCVD設備企業愛思強和維易科的最大收入來源，量產型MOCVD依靠進口，嚴重制約著國內LED產業的自主化發展。

一位業內人士對《廣東LED》透露，近年來政府大力扶持半導體照明產業“跨越式發展”。技術上鼓勵先進LED技術的研發和量產，并將通過項目補貼、設備補貼等方式對LED外延芯片及照明應用企業進行政策扶持。由于要發展LED產業鏈“核心”，因此外延芯片自然成為發展重點。

歷經幾年的大力研發和核心技術的公關，國內眾多企業紛紛推出國產MOCVD產品，標志中國企業在LED芯片生產核心設備國產化道路上取得新突破。從2011年開始，包括廣東昭信集團、思捷愛普、理想新能源、中科宏微、青島杰生光電等在內的多家企業紛紛宣布推出首臺國產MOCVD，中科院西安光學精密機械研究所、南昌大學材料科學研究所等科研機構也發布了MOCVD研發計劃書。截至2012年年底，國內已有近20家企業和科研團隊宣布涉足MOCVD設備技術研發。

來自政府的MOCVD補貼也是內地芯片廠不斷擴大機臺規模和市場份額的重要推力。內地芯片企業通過挖角等方式從臺廠聘請了大批優秀的工程師，這讓內地芯片的性能快速提高。

多家權威機構發布的數據顯示，MOCVD設備采購近兩年出現“瘋狂”增長，2010年前中國大陸MOCVD總裝機量只有150臺左右，2010年年底增至350臺，2011年年底更是達到近700臺。截至2012年11月底，國內量產MOCVD設備數量已達到909臺。

隨著中國芯片業的發展，芯片國產化率也在不斷提高。中國LED產業需要有實力的、屬于自己的MOCVD公司的出現，以提升整個LED產業的技術及創新能力。MOCVD設備國產化成功，意味著長期由國外壟斷的技術將被打破，國內眾多LED企業將告別對國外產品的完全依賴，國內LED自主產業生態鏈將更加完善，國內LED產業也將會迎來爆發點。