中微半導體設(shè)備有限公司(簡稱“中微”)的MOCVD設(shè)備Prismo D-Blue?于本月舉辦的第十五屆中國國際工業(yè)博覽會(簡稱“工博會”)上榮獲銀獎。該產(chǎn)品于今年3月正式發(fā)布，是此次獲獎產(chǎn)品中唯一代表半導體外延工藝的MOCVD設(shè)備，該產(chǎn)品技術(shù)對于高亮度LED的大規(guī)模生產(chǎn)至關(guān)重要。作為生產(chǎn)LED芯片的關(guān)鍵設(shè)備，MOCVD設(shè)備市場一直為歐美企業(yè)所壟斷。具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化成功，意味著相關(guān)技術(shù)長期被國外壟斷的局面將被打破，國內(nèi)LED自主產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈也將更加完善。

(圖中人物：上海市科委主任壽子琪，上海藍光科技有限公司技術(shù)和質(zhì)量管理副總裁郝茂盛博士，中微首席運營官兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士)

       中國領(lǐng)先的本土LED生產(chǎn)商上海藍光科技有限公司是中微MOCVD設(shè)備的第一批用戶之一。在祝賀中微獲獎時，藍光公司技術(shù)和質(zhì)量管理副總裁郝茂盛博士特別提出：“中微的設(shè)備性能超出了我們的預(yù)期，達到了MOCVD設(shè)備所應(yīng)具備的高工藝標準。中微MOCVD設(shè)備得此榮譽乃實至名歸。我們很樂于看到中微的MOCVD設(shè)備能夠在工博會上得到肯定，同時也準備在我們的LED生產(chǎn)線中能夠更廣泛地使用中微的設(shè)備?！?/p>

       根據(jù)工博會評獎管理辦法，銀獎的獲得者必須符合以下條件：第一，屬于全球高科技產(chǎn)業(yè)或裝備制造業(yè)主導領(lǐng)域的新技術(shù)、新產(chǎn)品，達到當代國際先進水平或?qū)儆趪鴥?nèi)首創(chuàng);第二，市場競爭力較強，在科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化過程中，經(jīng)濟效益或社會效益相當顯著;第三，必須擁有自主知識產(chǎn)權(quán)。只有擁有獨立自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品才可以參與評獎。中微的MOCVD設(shè)備通過層層嚴格評審，最終在工博會銀獎的獲獎名單中位列榜首。

       中微首席運營官兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士表示：“我們非常自豪能夠獲此殊榮。Prismo D-BlueTM產(chǎn)品是我們MOCVD團隊長期堅持不懈努力的結(jié)果，同時也離不開供應(yīng)商和像藍光這樣優(yōu)質(zhì)客戶的緊密合作和支持。在中微團隊的創(chuàng)新和努力之下所開發(fā)的MOCVD設(shè)備，幫助客戶提高了LED的生產(chǎn)效率，也降低了生產(chǎn)成本，并因此而得到客戶的認同和重視。”

       中國國際工業(yè)博覽會創(chuàng)立于1999年，是國家發(fā)展和改革委員會、商務(wù)部、工業(yè)和信息化部、科學技術(shù)部和上海市人民政府等部門共同主辦的最具國際影響力的工業(yè)博覽會。

       Prismo D-Blue是中微公司的注冊商標。

關(guān)于中微半導體設(shè)備有限公司

       中微公司致力于為全球半導體和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的工藝技術(shù)解決方案。除MOCVD設(shè)備以外，公司目前主要提供等離子體刻蝕設(shè)備和硅通孔刻蝕設(shè)備，用于國際一線集成電路客戶45納米到20納米及更先進的芯片加工制造和先進封裝。目前，中微已有200多個刻蝕反應(yīng)機臺在亞洲地區(qū)20多條國際領(lǐng)先的生產(chǎn)線上運行。中微開發(fā)的用于大批量LED外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備也已進入生產(chǎn)線運行。