MOCVD國產化加速 國際廠商強化性能應對

       ——材料與裝備技術會議觀察

無論是中科宏微、還是廣東昭信，再或是中微半導體，三家在CHINASSL2013之材料與裝備技術分會上對MOCVD設備志在必得的開發投產之勢，顯然讓國際廠商有了緊迫感。

“我們的愿望是向市場提供MOCVD傻瓜機，客戶只要第一次了解設備如何使用，今后按照設定好的程序就能比較輕松地完成設備的使用，并實現了從生產到制造的完全標準化和100%國產化。”廣東昭信半導體裝備制造有限公司技術代表甘志銀在臺上的發聲渾厚又清晰，“我們在研發過程采取了全程仿真設計，2005年開始研發，2009年投資試產，流程循環也已進行完畢，包括備受關注的溫度如何保持穩定性和均勻性，都將在12月底徹底完成，他還表示，“現在共有五臺新一代MOCVD設備正在裝配生產。”

在競爭愈發激烈時推出自產MOCVD，這是甘志銀為企業發展做出的注腳，志在必得之勢溢于言表。又豈止是昭信，中科宏微技術代表胡強全程介紹其研發的產品時的自信與娓娓道來，以及二人介紹完畢后與會者提出的問題顯然讓與會國際廠商愛思強、維易科和賽倫光電相關技術代表有所沉思。這在愛思強技術代表Andreas Toennis 隨后的AIXTRON技術介紹中可見端倪：“價格降低需要價值鏈中每一個企業為之努力，降低成本可以提高消費者的接納度，·····我們要通過不斷地進行技術改進，保持設備的生產能力和靈活度。”

國際廠商的壓力感在記者隨后對會議主持人南京大學電子學院博士生導師、南京大學揚州光電研究院院長陳鵬教授的采訪中也得到了驗證。

陳鵬教授認為，這次技術會議給他的感受有兩點。一是國產化MOCVD發展迅速，雖然沒有大面積鋪開，但一些設備已經開始進入試用階段，從技術來看，無論是容量還是性能與國際水平在逐漸靠近，設計理念、結構包括科學性也可與國際技術相比擬，“雖然在報告上看，細致和研究程度與愛思強和維易科還存在差距，但發展與前兩年不一樣，有較大進展。”

對于國產化MOCVD迅速發展對于國際廠商的影響，陳鵬認為，國際廠商的壓力并不在于國產化設備推出對其獲取高額利潤的影響，正如愛思強技術代表Andreas Toennis 所說，愛思強會不斷通過技術改進保持設備的生產能力和靈活度。從技術來講，國產MOCVD只是其中的一種機型，愛思強和維易科完全可以憑借技術優勢不斷推出設備的加強升級版，從價格策略看，其也不會輕易采取降低設備價格來贏取市場，畢竟現在還無人超越。況且中國政府也為企業購買進口設備提供了較大幅度的補貼，因此，目前來講，價格并不是這些國際廠商主要的壓力。危機感在于，一旦國產化設備技術成熟，正式投入使用，那時就不是價格問題，而是市場份額減少，這遠遠大于降低價格對企業產生的影響。“從這次報告來看，國內設備的生長機制和運行規律遠未達到他們研究的深度和廣度，但他們仍對這次技術報告一場不落，足見對國內MOCVD進展的關注和重視。國內設備已進入到應用的門檻上。”

除裝備技術外，本次會議展示的新材料技術雖不乏亮點，但整體而言，陳鵬認為，與MOCVD相比，從材料的性能和新應用方面，技術進展略顯遲緩，不似前幾年突飛猛進。表現在流明每瓦的器件效率仍停留在100~150之間，突破150的技術跡象并未發現。其次是，LED應用和滲透領域很多，諸如手機、顯示、背光以及通用照明等，但這次展現的材料都是老材料，鮮見新材料。因此，他表示，在新材料的應用和性能研究上還可進一步挖掘。