上海微電子裝備有限公司成立于2002年，公司主要致力于大規模工業生產的投影光刻機研發、生產、銷售與服務，
公司產品可廣泛應用于IC制造與先進封裝、MEMS、3D-TSV、TFT-OLED、LED、Power Devices等制造領域。
   
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