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壓電陶瓷、壓電促動(dòng)器、壓電定位臺、壓電掃描臺、物鏡定位器、測微儀、壓電陶瓷控...

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直線與旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)
發(fā)布時(shí)間:2018-06-19        瀏覽次數(shù):149        返回列表
 什么是壓電馬達(dá)?

壓電馬達(dá)一般分為交流壓電馬達(dá)和直流壓電馬達(dá)。運(yùn)動(dòng)方式分為旋轉(zhuǎn)和直線運(yùn)動(dòng)兩種。壓電馬達(dá)由振動(dòng)件和運(yùn)動(dòng)件兩部分組成,一般體積較輕、薄、小巧。

由于壓電陶瓷在電壓下產(chǎn)生的位移非常精細(xì),在微納米量級,且振動(dòng)或伸縮的幅值很微小,因而特別適用于制成超高精度的運(yùn)動(dòng)馬達(dá),獲得微小的位置調(diào)整。

直線與旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)的原理

壓電馬達(dá)的結(jié)構(gòu)形式很多,但多數(shù)的動(dòng)作原理相同,都是利用壓電陶瓷在電壓作用下發(fā)生振動(dòng),驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)件旋轉(zhuǎn)或直線運(yùn)動(dòng)。

直線運(yùn)動(dòng)的壓電馬達(dá)是采用粘滑原理,一般采用單個(gè)壓電陶瓷或多個(gè)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)。通過壓電陶瓷的振動(dòng)完成移動(dòng)平臺的直線運(yùn)動(dòng)。采用單個(gè)壓電陶瓷的結(jié)構(gòu),通過調(diào)整壓電陶瓷的運(yùn)動(dòng)方向及速度來控制。采用多個(gè)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的結(jié)構(gòu),一般具有兩種壓電陶瓷,一種壓電陶瓷的位移方向與運(yùn)動(dòng)方向垂直,控制壓電陶瓷與移動(dòng)件的接觸與分離;另一種壓電陶瓷的位移方向與運(yùn)動(dòng)方向平行,通過壓電陶瓷的振動(dòng)驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺的直線運(yùn)動(dòng)。

旋轉(zhuǎn)型壓電馬達(dá)也是由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),壓電陶瓷在電壓作用下產(chǎn)生振動(dòng),通過爪桿使棘輪旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

 

芯明天壓電馬達(dá)

芯明天可提供直線與旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá),直線馬達(dá)的運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)123mm,角度旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)的運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)360度。

~10"

滿行程重復(fù)度

< 1nm

掃描分辨率

< 1~2µ°

速率

> 20mm/s

角速度

≥15°~≥45°/s

 

直線壓電馬達(dá) 部分展示

 

一維X向運(yùn)動(dòng)直線壓電馬達(dá)

一維θz向360度旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)

 

直線與角度組合式壓電馬達(dá)

直線與旋轉(zhuǎn)組合式三維壓電馬達(dá)

直線與角度組合式壓電馬達(dá)

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